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1000级洁净室空调系统的调试分析-空调过滤器厂家
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2010-11-27   人气:   标签:
     1000级洁净室空调系统的调试分析-空调过滤器厂家 广东机电职业技术学院 童 蕾*南海奇美电子有限公司 李伟强 南方医科大学 陈超敏 关键词 洁净空调系统;空调过滤器厂家;温度;湿度;压力 洁净室空气过滤器 洁净室空调 洁净室 洁净室等级 洁净室标准 中国洁净室信息网 洁净室工程 洁净室分类 洁净室验收标准 洁净室验证



摘 要 介绍1K 级洁净室空调系统特点,并就通过空调系统调试,维持洁净室内的温度、湿度、洁净度及正压环境策略和实践进行讨论分析。
Commissioning of Air-Conditioning System in a Class 1K Clean Room
Tong Lei, Li Weiqiang and Chen Chaomin
Abstract Recommends characteristics of clean air-conditioning system in a Class 1K clean room. Discuss the scheme and
practice of maintaining room condition – given temperature; humidity and pressure.
Keywords clean air-conditioning system; Temperature; Humidity; Pressure
童蕾,女,1 9 6 6 年生,高级工程师,副教授
510515 广州市沙太南路麒麟岗广东机电职业技术学院机电系
(020)61362199,13622764791,
收稿日期:2008-6-10 修回日期:2008-7-15

      2009 年3 月 洁净与空调技术CC&AC 第1 期在电子行业中晶圆厂与半导体厂对生产环境要求最为严格,生产环境的温度、湿度、洁净度直接影响产品的质量和寿命,都要求控制在特定的范围内。在LCD(Liquid Crystal Display) 液晶显示器的制程中要求生产环境洁净度达到1k 级,温度控制在23℃± 2℃,湿度控制在55% ± 5%,根据这个要求对某LCD 液晶面板制程车间(工业洁净室)进行完工调试。

     净度与正压的主要系统,其技术要求、施工质量要求高,投资大,一旦失败,无论从财力、物力、人力上讲都会造成浪费,因此要搞好洁净空调系统,除完美的设计图纸以外,高质量高水平的施工,还要求认真有序试车,确保洁净空调系统调试成功。

      1000级洁净室空调系统的调试分析-空调过滤器厂家,洁净空调的调试要注意控制MAU 的送风温度,注意保护室内FFU的高效滤网,但在洁净空调的调试中出现问题不只是空调系统本身存在问题,要结合土建及内装等各方面的因素。

参考文献

[1] 许钟麟.洁净室设计[M].北京:地震出版社,1994:43-44

[2] JGJ71-90 洁净室施工验收规范[S]

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