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设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2010-07-19   人气:   标签:
      国家标准对洁净厂房有三个标准,一个是今天下午要仔细讲的《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472,还有《洁净厂房设计规范》GB50073 还有一个规范是《医药工业洁净厂房设计规范》GB50457。设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》因为不管是扩建厂也好,还是改建厂也好基本规范都是应用的。任何一个工程建设设计是先行,首先搞好设计,只有搞好设计,后面的程序才走的顺,走的好,所以这里说《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据。
 
  如果我这里说到的你首先执行这个规范,为什么讲重要依据,先把这个讲讲,因为在很多地方在进行消防检查的时候,首先都是执行建规,任何一个工程必须要执行建规,建规对建设防火等各个方面的规定,从消防的水系统设计等很全面,我们在制订《电子工业洁净厂房设计规范》的时候考虑到这种电子厂房的特点,针对这个特点制定了消防方面的规定,如果说这些规定和建规有冲突的时候,就要执行这个。现在在我们国家可能有很多人以为,比如说设计的时候,很多在设计依据里面第一条是建规,也把洁净厂房写进去了,这两个来讲主要写哪一个,我可以回答大家的首先要执行《电子工业洁净厂房设计规范》,当然建规也要执行,这个规范里面没有说到的问题,你要执行那个。

   在设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》这个问题一开始很重视,为什么编这个规范,就是因为从2000年左右,华虹NEC建设开始,到后来的TFT、京东方等新厂的建设都存在一个问题,原来的50073和建规里面的有关防火分区等各个问题都不能适应电子工业洁净厂房的特点。比如说由于洁净厂房的特点,有很多的易燃易爆和有毒的气体和化学品,因此这里有专用的房间,这里的摆放建规里面是不能解决的问题,所以针对这一点,我们编写组在进入的时候,就是想把这个问题解决。最近合肥上半年又开了一次,因为这个规范刚出来,安徽省消防总队他们认为应该执行建规,或者两种都要执行,所以七月份开的时候我去了,并且我特意请了建规管理组的负责人,就是建规50016的负责人一起参加这个会,主要那个会解决这个问题,就是说我们电子洁净设计厂房这两种规范首先执行哪一个,首先执行这一个。因此在合肥京东方的消防论证会上大家写纪要的时候,第一条就是TFT设计首先执行《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472等规范的要求。在座的你们如果说以后在遇到这个问题,也要很明确首先要执行这个规范。

  第一本规范是在85年实施,由于这个发展我们在2001年对GB77384制定进行修订出现GB50073,这里面最大的差别有两点,第一点洁净度等级不是按照209,而是按照国际标准分为九级完全和国际接轨。我们是2000年的12月份审查通过的标准是2000年5月份开始实施,事情很巧,美国人对于FS209在2002年下半年宣布作废,不在使用,

  第二个不一样是扩大,这本标准适用于所有的洁净厂房,对于这个问题也出现一些问题,就是在强调,由于我们国家编标准的习惯,对强制性标准的内容很多,具有法规性的内容超出了这个内容,但是改编这个很困难,所以大概在96年左右国家在强制性标准里面又要有强制性条文和规定性条文。因此我们GB50073出来以后,就有了很多强制条文,下午我们会讲到这些问题,强制性条文出来以后,对电子行业来讲有些强制条文一些问题不是太大,但是也有一些不是很合适。

  设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》针对电子洁净工业厂房的特点,有关易燃易爆的化学品、气体的规定,这些规范里面没有写,所以这种情况下,我们在2002年GB50073提出一个问题,就是50073能不能在编补充的规范,后来在这种情况下,2005由我们刚才说的标准定额站和我们院里向建设部提出能不能编写建设厂房洁净设计规范,初衷是编写行业标准,后来建设部改为国家标准。这三个标准的关系是这样的,如果电子工业洁净厂房首先执行《电子工业洁净厂房设计规范》这里面相关规定,在这个规范里面如果50073一样的我就不写了。同样《医药工业洁净厂房设计规范》也是一样,如果跟50073不一样的就另外写,如果一样的就依据50073规定。所以说这三个规范的关系你是电子工业首先执行《电子工业洁净厂房设计规范》你是医药工业首先执行《医药工业洁净厂房设计规范》,如果没有讲到的,按照GB50073执行。

  下面洁净技术是一门综合技术,是(生产工艺技术+工期净化+洁净建筑)+高纯物质,这里边我想是一个理念问题。对于电子行业讲还有一个排风问题,可是排风处理不好,洁净也运行不好的,大家一定要建立一个理念,今天的技术发展,洁净技术必然是综合技术,你在思考建一个洁净厂房的时候,也是这次编写《电子工业洁净厂房设计规范》主导思想就是要把这个规范辩称适应洁净技术是一本综合技术发展需要来制定。电子产品尤其是微电子产品生产依赖于洁净技术的发展,或者说洁净技术的发展是微电子产品的更新换代的需要和促进的结果。在座的可能有搞半导体的,现在洁净技术的发展或者说现在9个洁净度等级怎么来的,是电子工业的需要。所以洁净技术和微电子生产,微电子技术的发展是互相以来互相依存、互相促进的。

  下面电子工业的特点,一是严格的空气洁净度和各类杂志的控制要求。二是以微电子产品生产为代表的电子产品生产过程的连续性和自动化程度的不断提高、完善以及高精密制造设备的日益广泛应用。三专业技术的严格控制要求,电子工业洁净厂房一般应具有下列功能设施:净化空调系统、专用净化设备、洁净建筑及装饰、噪声控制、防微振、防静电、防电磁干扰、电器、照明、高纯物质—高纯水、高纯气、高纯化学品供应,安全、报经系统、节能设施、通信设施等。四是以微电子产品生产为代表的大面积、大空间、大体量的洁净厂房相继建成、并日渐增多。我们初步统计五千平方米以上的大面积、大空间、高度是在15米以上,这种洁净厂房我们国内大陆大概有二三十家。因此由于大面积、大空间、大体量的洁净厂房就为电子工业洁净厂房带来了许多许多的问题,这里不详细说。其实还有一个尤其是第四个特点引出一个能耗高的问题,我曾经跟国家搞能源的院士说,你说我们电子工业要求多少电,他说用多少,也就用一两万了不起了吧,我说大概在十几万,所以这个能耗就很大了。

  电子工业洁净厂房的特点和工程实践为依据,结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况,广泛的调查研究、收集整理相关的专题报告、测试资料,认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验,广泛征求了国内有关单位的意见,集思广益进行制定。

  现在设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》五次征求意见会在上海、北京、深圳都举行了征求意见会,还有我们写了很多专题报道,这里说到的我们把NFPI318翻译中文以后,在318里面的内容在里面采用了一部分,对国外标准是这样的,318大家都知道这个规范,这个规范在美国叫消防标准,他针对的范围就是半导体工厂,他是这样写,把半导体生产许多安全问题全写到了,我们这里只吸了一部分进去。

  《电子工业洁净厂房设计规范》共分15章和4个目录,其中强制性条文有将近50条,在规范中凡是用黑体字标准的条文必须强制执行。所有的电子工业洁净厂房设计建造的单位和相关科技人员都应该认真执行、实施规范中的强制性条文、推荐性条文的各项规定,使电子工业洁净厂房的设计、建造有法可依、有章可循。

  这里面我要介绍一下强制性条文,具体内容下午再说,对强制性条文需要在座的设计单位、工业企业和工程公司大家一定要重视强制性条文,强制性条文不仅仅是你在设计当中单位进行审查和对照的,并且以后在投入运行的时候,特别是中间有关安全、消防的条文在工程建设的时候,说不定什么时候冒出一个问题,这样验收就很难成功。

   这种规范实施我就希望从今年7月1号开始实施,希望大家能够把这个规范真正成为国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据,希望你们在建造的时候把这种规范作为依据,GB50472的实施,将有效地避免因设计时洁净技术措施、安全消防设施等的设置要求不明确、不一致造成工期烟雾或措施不当、引发的产品质量下降或安全隐患;有效的避免因电子工业洁净厂房设计时各专业技术的不协调、不完善,引发的工程设计的差错一直设计事故。在座的都是工厂,你就不希望由于设计的差错引发设计事故甚至以后事故的发生,所以我们作为规范编写,力求把现在已经看到的有关消防安全和应该遵守的条文写进去,希望大家认真的实施,能够有效的避免这些情况的发生。严重时使建成的洁净厂房运行效果差、影响产品质量和安全可靠性差。

  由于设计建造电子工业洁净厂房的重要依据:国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》具备上面的特点,现有国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073中有关规定已不能满足需要,尤其是涉及化学分子污染物的控制、安全、消防等方面的规定,如洁净建筑防火与疏散,易燃易爆气体和化学品的储存输送、安全消防报警设施等。
避免净化空调系统成为污染源 

♦不产尘、不积尘、不受潮和易清洁原则:
♦风系统风管制作应有专用场地,其房间应清洁、密闭。工作人员应穿干净工作服和软性工作鞋。
♦应采用不复油的镀锌板,易洗净,不起粉。
♦风管接缝易漏风、积尘,也不便清扫,加工中应尽可能减少拼接缝。矩形风管底边的横向拼缝更易阻挡尘土,所以不允许有横向拼接缝。
♦风管和部件制作完毕应擦拭干净,并将所有开口用塑料膜包口密封。
♦风管安装应在土建作业完成、环境的清洁卫生做好后进行。
《规范 》暖通空调部分
♦风管制作是一个重点,在洁净室施工中有其特殊要求。例如根据建设单位反映和多年实践,证明冷板涂漆的办法对风管很不好。
♦提出了更高的要求:“当设计无特殊规定时,风系统的末级过滤器之前的风管材料应选用镀锌钢板。末级过滤器(高效过滤器) 之后的宜用防腐性能更好的金属板材或不锈钢板,有特殊要求时,也可采用不低于难燃B1 级的非金属材料风管。有防腐和高严密性要求的排风管道应采用非金属板材或不锈钢板,不宜采用玻璃钢材料。”
《规范 》暖通空调部分
♦镀锌钢板在加工过程中镀锌层也容脱落。
♦为此提出“镀锌钢板的镀锌层必须在100号以上,其表面不得有裂纹、结疤、划伤,不得有明显氧化层、针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷。不锈钢板应为奥氏体不锈钢材料,其表面不得有明显划痕、斑痕和凹穴等缺陷。”
♦风管板材存放处应清洁、干燥、避开尘源,底层应为带有软面的平托板。不锈钢板应竖靠在木支架上。不锈钢板材、管材与镀锌钢板和其管材不应与炭素钢材料接触,应分开放置。码放时不应平拖。
♦风阀、消声器等部件安装时必须消除内表面的油污和尘土。
♦消声器内充填的消声材料应不产尘、不掉渣(纤维)、不吸潮、无污染,不得用松散材料,纤维材料应为毡式材料,外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和离心玻璃棉。
♦有开孔的风管,应在绝热后再安装。风管绝热后,禁止在绝热层上开洞和上螺栓。风阀和清扫孔的绝热措施不应妨碍其开关。
♦咬接和法兰连接的金属风管,绝热之前,胶封缝隙以后,按附录A的方法进行漏风检测,应随测随装。1-5级洁净度环境的风管全部检测,6-9级洁净度环境的风管检测30%,不少于1个系统。应同时符合下列两项严密性指标:
♦单向流漏风量≤1% ,非单向流漏风量≤2%
管段及其上附件 试验压力
(Pa) 最大漏风量(m3 / h•m2)
总管(连接风机出、入口的管段) 1500 1.36
干管(连接总管与支管或支干管的管段) 1000 3.14 
支管(连接风口的管段,包括接头短管) 700 2.49
♦施工反映强烈的一点是彩钢板所用金属面板厚度越来越薄,非常影响洁净室质量,为此,条文中强调金属面板厚度应为0. 5 ±0. 03 mm ,也就是说,这一条是有所指的关于质量的重要一条。
♦为了确保严密性,由实践得出的从行标沿用下来并被各种标准采用的禁止在密封垫上涂涂料的规定仍是在国外标准上没有被突出明确的一种行之有效的措施。
♦国内实践证明,要清扫的风管应开清扫孔。而开清扫孔在行标和国外标准中提到过。但风管开清扫孔显然与净化风管相矛盾。
♦《规范》要求风管不应开清扫孔。
♦当不具备上述条件而又需要开清扫孔时,管径大于500 mm的风管每20~30 m 直管段端头应设清扫孔,清扫孔的门应严格密封、绝热。风管内过滤器前后应设测尘测压孔。系统安装后必须将孔口封闭。”
♦新风口底部距室外地面应大于3m,排风口应高于新风口不小于6m,当新风口、排风口在同侧同高度时,安装的水平距离应不小于10m。
♦新风入口处必须有挡雨措施,净通风面积应使通过风速不大于5m/s。
♦回风口上的百叶叶片必须竖向安装,宜为可调至关闭的,室内回风口有效通风面积应使通风速度不大于2m/s,走廊等场所不大于4m/s。当对噪声有较严要求时,上述速度应分别不大于1.5m/s和3m/s。
♦定风量阀安装处管内阀的两端工作压力差应大于阀的启动压力。入口前后直管应有尽可能长的长度,并应不小于该定风量阀产品要求的安装长度,而且最小不小于1.5倍阀长或1.5倍阀径的直管段。安装方向与指示相同。
♦防火阀的阀门调节装置应设置在便于操作及检修的部位,单独设支、吊架。安装后必须检查易熔件仍牢固固定。当有长途不平坦运输过程时,其中易熔件应在各项安装工作完毕后再安装。阀门在吊顶内安装时,应在易检查阀门开闭状态和进行手动复位的位置开检查口。

ISO空气过滤器分类
空气过滤器
♦净化系统处理对象特点:微粒浓度低、粒径小、分散特性差异小
♦由于工艺高可靠性对除尘要求:净化系统以阻隔型过滤分离为主
♦目前主要采用低填充率的深层过滤器,现有过滤器可以满足任何应用场合
♦末级过滤器的性能是确保工艺要求的洁净度实现的关键,前级过滤器是保护
♦末端高效过滤器安装时的防泄漏有时比单纯提高过滤效率更重要


空气过滤器性能指标
♦1. 额定风量(面速和滤速):单位面积通过量
♦2. 过滤效率(穿透率,净化系数):计重效率,计数效率(与试验尘和检测方法有关的)
♦3. 阻力:初阻力为未积尘时状态,终阻力为需更换时的状态。
♦4. 容尘量:是表示过滤器容量的参数。标准规定:终阻达到初阻一倍的容尘量。


高效过滤器分类

♦国标GB13554定义:高效过滤器分为A、B、C、D四类
♦A类≥0.3μm效率0.999
♦B类≥0.3μm效率0.9999
♦C类≥0.3μm效率0.99999
♦D类≥0.1μm效率0.99999
♦国标GB50073定义:高效过滤器HEPA和超高效过滤器ULPA
《规范 》暖通空调部分
♦国内一些规范规定净化系统新风要三级过滤,最近卫生部关于净化系统回风口上要安装细菌一次通过率不大于10 %的过滤器的规定,这是依据国内国情,而非照抄国外标准的规定。
♦为此《规范》规定:“在新风经过三级过滤(末级为高中效或亚高效过滤器)、回风口上安有细菌一次通过率和尘埃按重量一次通过率均小于10 %的过滤器。
♦高效过滤器或其送风末端应现安现拆。拆开包装后,首先应检查铭牌或说明书所载性能是否符合设计要求,效率和阻力应为出厂实测数据,不得以过滤器所属类别定义数据代替。应有扫描检漏合格证明。然后进行外观检查。
♦用于以过滤生物气溶胶为主要目的或者有特殊要求的高效过滤器或带有高效过滤器的送风末端装置必须接受现场扫描检漏,合格方可安装高效过滤器或其送风末端装置;现场扫描检漏装置应适用于所施工工程所用型号的高效过滤器。
♦密闭、无泄漏是净化系统的关键之一!
♦法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘的材料,首选多孔且闭孔的材料。
♦一个系统法兰的密封垫的性能和尺寸应相同。
♦法兰密封垫的接头做成阶梯或企口形。
♦针对在工程检测实践中发现的大量不规范安装方法强调指出:“采用密封垫时,压缩率宜为25 %~30 % ,禁止将密封垫压死。密封垫材质和接头形式应符合第5. 3. 2~5. 3. 3 的规定。当用螺栓、压块压紧密垫时,四角必须压紧,不得只压边框中点。当过滤器尺寸大于320 mm 时,至少采用四角8 点压紧”。
♦这一条看似简单,实践证明它是过滤器漏风的主要原因,也是洁净度降低、含菌浓度升高的重要原因。
♦要求在回(排)风口上安高效过滤器,都是因为回、排风中有有害气溶胶,所以防漏是第一要素,过滤器必须先检漏后安装。如果过滤器边框只是普通结构而非零泄漏结构,则还要对边框进行扫描检漏。对于不能进行检漏的,必须进行生物学评价。为了安全,还是提倡预先检漏。
♦首先要对过滤器检漏,不漏才能安装。回(排)风装置不能消除过滤器自身漏。然后才检测安装过滤器安装密封或泄漏。
♦送(排)风末端的安装是风系统中的重点。
♦《规范》不仅对国际上先进的液槽密封、FFU 等负压密封作了规定,也对国内出现的双环密封、动态气流密封等提出了要求。
♦要真正消除渗漏风险,只有在结构上杜绝渗漏的可能性,仅仅靠机械密封是不够的,渗漏风险依然存在。
♦特别是高风险场合!渗漏是成败关键!
传统的排风装置 
在结构上存在渗漏的可能性,单靠密封条密闭存在风险
图1
动态气流密封负压高效排风装置 在结构上保证了不渗漏,规避了风险,密封条只是减漏
图2


末端装置渗漏检测 
♦《规范》明确“为过滤有害气溶胶在回、排风口上安有高效过滤器的洁净室及其固有装备(如生物安全主实验室的生物安全柜) ,必须在安装前用现场检漏装置对高效过滤器扫描检漏,确认无漏后方可安装。普通回、排风口安装后再对安装边框扫描检漏,确认无漏。当无法对边框扫描检漏,又非零泄漏的边框密封结构,必须进行生物学等专门评价”
♦“当在回、排风口上安装动态气流密封排风装置时,应将正压接管牢靠地与接嘴联接,压差表应安于室内目测高度。高效过滤器安装前应进行扫描检漏,确认无漏。”
♦“要求压差计读数应在10 Pa 以上。”


完整工程验收体系 
♦《规范》关于检测技术的附录有的是参考了ISO 标准,有的比ISO 标准还详尽,有的则是ISO 所没有的。《规范》提出了涵盖各类洁净室可能要检测的34 项指标和具体方法,这比ISO 标准还多10 项左右。在这些测定方法中有的是采用国内实践过的国际先进技术,有的是采用国内研究的实践证明有效的新技术。所以这些都是在现实检测验收中合理可行的办法。


完整工程验收体系
♦“一个主导、两个方面、三个阶段、四个确认”,即:
♦一个主导,即验收以建设方主导;
♦两个方面,工程验收与使用验收;
♦三个阶段,中间验收阶段、施工验收阶段与性能验收阶段;
♦四个确认,设计符合性确认、安装确认、运行确认以及通过综合性能全面评定进行性能确认。

􀁺验验收体系£&ldquo一一个主导、两个方面、三个阶段、四个确È&rdquo的的互相关Á

《规·》》验收状Ì
&diams施施工验收阶段和性能验收阶段,这在原行标执行过程中已被大家所认同与熟悉。但施工阶段验收状态、以¼&ldquo静静Ì&rdquo的的认定,国内在认识上有差异,因为各个标准的定义上也不尽相同¡
♦ISO将½&ldquo工工艺设备正在按照商定的方式进行运行但室内无人的状Ì&rdquo定定义为静Ì
&diams认认为仅适合于全自动化生产工艺场合,不宜作为普适的定义¡
&diams《《规范》给出了三种静态含义£
&diams全全部建成且设施齐备,净化空调系统运行正常,现场没有人员,但生产设备已安装完毕而尚未运行的状态£
&diams生生产设备停止运行并室内进行自¾20 min后后达到的状态£
&diams正正在按建设·用用»)和和承建方商定的方式运行的状态¡
&diams《《规范》规定Õ3种种状态由当事人协商选择¡


工程检测附Â
&diams《《规范》关于检测技术的附录有的是参考ÁISO标标准,有的±ISO标标准还详尽,有的则ÊISO所所没有的。《规范》提出了涵盖各类洁净室可能要检测µ34项项指标和具体方法,这±ISO标标准还¶10项项左右¡
&diams在在这些测定方法中有的是采用国内实践过的国际先进技术,有的是采用国内研究的实践证明有效的新技术。所以这些都是在现实检测验收中合理可行的办法¡


管路系统漏风的检测方·
&diams净净化风管一律要漏风检查,原漏光检查太粗Á
&diams漏漏风检查要求单位风管展开面积漏风量和系统漏风率两项达标。原行标只有漏风率。如果系统很短但风量很大则漏风率可能也很小,但单位面积漏风量可能较大,反之亦然¡
&diams有有的规范以工程压力为准计算漏风量,或在试验压力下测出漏风量还要换算成工作压力下的漏风量,看似工作压力接近实际,但是工作压力很难确定,因此宜用一个统一的较高的试验压力来计算漏风量,根据所在管段确定一个试验压力,而不管工作时的压力可能小于此值¡
&diams《《规范》要求按系统最大终阻力的Ô倍倍估算值作为检测压力¡
&diams新新风段Ô100P,,空调机组Ô500P,,管道Ô100P(£100长长),部件Ô200P,,末端Ô400P,,再放´1.倍倍,取整数采Ó1500P,,相当于高压风管。结果总管È1500Pa干干管È1000 P,,支管È700 P。¡
♦1-级级都用单向流,末端过滤器要满布,则每一Ì过滤Æ滤速要远低于乱流洁净室,阻力反而小,将其工作压力定得高于乱流洁净室是不对的¡
&diams实实际上不同管段压力会不同,有的规范认为支管不要测漏风量。因为它接近送风口,压力趋向Ó“0&rdquo。。净化系统支管末端不是敞开的风口,都有高效过滤器,终阻力是很大的,支管上有时还有阀门、加热器等部件,工作压力不低,支管也会漏风¡
&diams《《规范》规定总管与支管均要测漏风率,在附Â提提出了检测方法。但是当系统不复杂时,按国标《通风与空调工程施工质量验收规范¡GB5024的的方法检漏也符合要求,这就在操作上增加了灵活性¡
&diams原原行标和其他标准要求整个系统上测,所有开口封上盲板。即使测出了也仅知道系统有Â漏漏在何处则不得而知。由于系统复Ô盲盲板很难·可可操作性太小。如果只规定测总管、干¹支支管不²实实际上自从制订以来包括其他规范的类似规定根本未执Ð也也未被检查,犹如一个虚设¡
&diams《《规范》附录通过建立模拟系统实Ñ认认为在地面上组装一段管道测一段管道、合格后安一段管道的方法是可行的。分段安装和检测不仅方±而而且能知道漏在何´便便于堵漏。同时规定也可以按原有办法在系统安装后加盲板测定。这由建设方和检验方协商确定¡

高效过滤器的检漏标×
&diams行行标规定:普通高效过滤器当下游透过率超过额定透过Â倍倍时即判定为漏,对超高效过滤器超¹倍倍则判定为漏¡
&diams这这不仅如何确定额定透过率,当然还涉及到检漏气溶胶种类与浓度问题¡
&diams近近年来,ÔIS标标准中才给出漏的标准。对于普通高效过滤器最少超¹1倍倍算漏,多Ô3倍±
&diams《《规范》附录结合科研给出更简便的确定是否泄漏的方·
&diams关关于高效过滤器检漏气溶胶问题,国际常用冷发ÉDO作作检漏气溶胶,又提出光度计不如计数器,近年ÀDOP有有致癌的风险。但用什么气溶胶更好,如何检漏更方便,都仍欠明确¡
&diams《《规范》通过理论研究和实验,并加Ô倍倍的安全系数,得出用大Ó4 000粒Á/ L浓浓度的大气尘即可扫描检漏的结论¡

高效过滤器检Â
&diams检检漏时将采样口放在离被检过滤器表Ã~¡3c处处,宜Ò1.5cm/(£2.83L/mi))»2cm/(£28.3 L/mi))的速度移动,对被检过滤器进行扫描。当上游浓度较大时可提高扫描速度¡
高效过滤器采样流率£L/mi))过滤器上游浓度(Á/))普通高效过滤器(国±、¡、¡类类£2.8或»28.300.5μm≥5000超高效过滤Æ(国±类类和以上£28.30.3μm≥6000
《规·电电气部·》¡
&diams为为了保证环境控制、工作(生产)的安全以及维护检修的方便,要求洁净区用电线路与非洁净区线路应分开敷设;主要工作(生产)区与辅助工作(生产)区线路应分开敷设;污染区线路与清洁区线路应分开敷设;不同工艺要求的线路应分开敷设¡
&diams穿穿线管口密封对洁净室密闭尤为重要,要求穿过围护结构的电线管应加设套管,并应用不收缩、不燃烧材料将套管密封。进入洁净室的穿线管口应采用无腐蚀、不起尘和不燃材料封闭。有易燃易爆气体的环境,应使用矿物绝缘电缆,并应独立敷设¡
&diams金金属有线导管或线槽不应焊接跨接接地线,应用专用接地点跨接。不能图方便而省去专用接地线直接用线槽跨接,这因线槽质地而大大影响接地电阻¡
&diams洁洁净室的配电盘(柜)、控制显示盘(柜)、开关盒宜采用嵌入式安装,与墙体之间的缝隙应采用气密构造,不突出墙面、不易积灰¡
&diams为为了减少一旦检修时对室内的污È,配配电盘(柜)、控制盘(柜)的检修门不宜开在洁净室内,如必须设在洁净室内,应为盘、柜安装气密门¡
&diams洁洁净环境灯具宜为吸顶、气密。单向流静压箱底面(室内一面)上穿过螺栓之类而造成严重漏泄并很难补修的孔洞很多,即使焊住也不行,螺纹处仍漏,加上螺帽,打上胶都难以封住。必须时只能把螺杆根部焊在底面上¡

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