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無塵室使用收費辦法
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2011-03-10   人气:   标签:
  無塵室儀器設備開放等級
1. 本無塵室之儀器設備開放使用共分成四個等級,分述如下:
A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。
B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。
C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作該儀器並得負責委託服務。
D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。
2. 本無塵室所有的儀器設備開放等級,將由管理中心委員另訂之,並且公佈於無塵室及專屬網頁上。

中興大學電機(光電)工程研究所無塵室使用收費辦法 1.        為維護無塵室正常運作,訂定本收費辦法,所有無塵室使用者必須遵守,否則取消其進入無塵室之權利。 2.        校內無塵室使用者分為三個等級:(1)電機(光電)工程研究所使用者(2) 校內會員(3) 校內非會員。(1)和(2)使用者使用無塵室,將收取基本費及使用者付費兩部分。基本費以教授為單位,每學年每位老師收取3萬元,其中一萬元為基本費,兩萬元為預付儀器使用費。使用者付費依各儀器設備刷卡記錄收費,依『無塵室刷卡收費標準一覽表』收費。 3.        非校內使用者,依『無塵室管理儀器設備暨對外服務』辦法收費。但和電機(光電)工程研究所有合作關係者,得比照校內非會員使用者收費。 4.        無塵室使用者付費部分,每個月結算一次。
中興大學電機(光電)工程研究所無塵室儀器設備 刷卡收費標準一覽表(95.12.1) 項次 電機所儀器名稱 服務細項 收費標準(元) 電機(光電)所 校內會員 校內非會員 學校支援採購儀器 1 OAI雙面對準曝光系統(包含光阻處理、光罩對準)(A) 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5")、晶片 (~4")紫外光曝光 暫不收費(學校有補助耗材費用) 2 ICP-RIE(學校目前無補助耗材費) (A) 60分鐘內 開機300元(60分鐘內) 超過60分鐘 5元/分(超過60分鐘) 電機(光電)工程研究所自購儀器設備 3 潔淨室使用費 (A) 含手套、口罩、空調耗材等 1元/分 1.5元/分 3元/分 4 PECVD(B) 60分鐘內 900元 1350元 2700元 超過60分鐘 15元/分 22.5元/分 45元/分 5 ECRCVD(B) 60分鐘內 900元 1350元 2700元 超過60分鐘 15元/分 22.5元/分 45元/分 6 真空熱蒸鍍系統(A) 60分鐘內 180元 240元 480元 超過60分鐘 3元/分 4.5元/分 9元/分   7 薄膜測厚儀 (A) 60分鐘內 180元 240元 480元 超過60分鐘 3元/分 4.5元/分 9元/分 8 FTIR 光譜儀 (A) 60分鐘內 180元 240元 480元 超過60分鐘 3元/分 4.5元/分 9元/分 9 UV-VIS光譜儀(A) 60分鐘內 180元 240元 480元 超過60分鐘 3元/分 4.5元/分 9元/分 10 Wet Bench (A) 60分鐘內 120元 180元 360元 超過60分鐘 2元/分 3元/分 6元/分 備註 1.此收費標準係參考「無塵室管理儀器設備暨對外服務」等相關收費辦法後制定。 2.請依電機(光電)工程研究所規定付費方式付費,另光阻請自備。  
中興電機工程研究所無塵室儀器設備暨對外服務 收費標準一覽表 項次 電機所儀器 名稱 服務細項 收費標準(元) 學校單位 研究單位 營利事業單位 1 潔淨室使用費   5元/分 7元/分 10元/分 2 雙面對準曝光系統(包含光阻處理、光罩對準)(不包含Wafer和Mask材料) 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5")、晶片 (~4")紫外光曝光 400+ 10元/分   600+ 10元/分   800+ 10元/分 3 ICP-RIE 60分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過60分鐘 1500+ 20元/分  2000+ 30元/分 2500+ 40元/分   4 PECVD 60分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過60分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分   5 ECRCVD 60分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過60分鐘 1500+ 20元/分  2000+ 30元/分 2500+ 40元/分   6 真空熱蒸度系統 60分鐘內 1000元 1200元 1500元 超過60分鐘 1000+10元/分    1200+12元/分 1500+15元/分 7 薄膜測厚儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 8 FTIR 光譜儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 9 UV-VIS光譜儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 10 wet bench 400/小時       備註 1.此收費標準係參考北區、中區、及南區微機電中心、中央大學光電中心、以及交通大學奈米中心等相關收費辦法後制定。 2.實驗室負責人:江雨龍 教授 3.請依學校規定付費方式付費,另光阻請自備。 4.與中興大學電機系有合作計畫者,則付費方式另訂之。 
资料整理:http://www.gd-klc.com/
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