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高效空气过滤器 半导体制造洁净厂房设计案例
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2011-03-01   人气:   标签:

      高效空气过滤器半导体制造洁净厂房设计案例 跟你一起分享在净化工程各种关于净化设备及空气过滤器生产厂家的优质产品的制造工艺及空气过滤器品质的得要性。
第一部分半导体系体例造的洁净厂房在体式格局上跟其他的平板洁净厂房的体式格局上没有什么请求。依据轮回空气的特征把洁净厂房分为三种,第一种大家叫做轮回空调将合营高校顺风口的体式格局,这种洁净室的体式格局是比较早的体式格局,在八十年代以至最早的6十年代都是用这种体式格局。它的形势比较多种送风的体式格局有上送、侧送。高效空气过滤器半导体制造洁净厂房设计案例,它的缺点是不合适高等级和大面的洁净室,运转成本高,占用空间大。

   第二种体式格局是轮回风机合营湿式密封系统,它的特征是高静压、液槽密封;合适各类等级的洁净室。它的缺点是运转费用比较高,首如果电费方面,再来就是噪音比较高,轮回风机通俗都是大风机可能经由风管或者建筑结构引进来。另外施工难度大,漏风量大,系统升级(洁净度)扩展艰难。

   第三种体式格局就是首要讲的FFU轮回风系统,这套系统在半导体系体例造行业应用最普遍的一种体式格局。这种体式格局的特征由FFU供应轮回空气的动力,整个轮回空气经由一台一台小风机中止轮回风系统,在FFU操作引擎的时分,在施工的时分都不会构成影响,用起来十分便当,而且俭省空间,另外十分首要一点是洁净度安全性高。大家依据市场的状况设备分歧的往里进,装置施工包括施工人员还有机械在施工的过程中不时存在,假如安全度不高遭到干扰的话,抵消费会构成影响,所谓的缺点就是维护成本高。

   大家讲一下情况节制,起首是洁净度。下面这张图是整个洁净度节制的概念图,起首是新风部分,通俗设置装备铺排是初效、中效和高效。洁净室的等级平日抉择高校空气过滤器的袒护率,一级洁净室请求高效100%袒护率,换气次数400次。100级是25%袒护率,换气次数100,1000级是12.5%袒护率、换气次数在50次。

   这个表格是大家半导体系体例造一些工艺消费过程的洁净等级请求,请求通俗的是光照生产,还有微情况,其他的一些大的区域,包括薄膜等在百级。洁净度的请求是不是越高越好,这个首要照样抉择大家的设计,或者抵消费的请求,洁净度越高意味着FFU袒护率会成倍的添加。今朝对一些洁净室的设计照样大情况,不需求很高的洁净度。还有湿度节制,湿度节制首要经由轮回通气冷却系统,去除洁净室轮回空气的显热,最终节制洁净室温度。湿度节制首要经由新风节制箱中止节制,温度的节制目标有两个,起首是人员的温馨性,温度在21-23度都没有问题,作为制程来说大家存眷的是摇动性。节制洁净房的湿度首要目标是湿渡过低将轻易发生静电、湿渡过高,对产品的影响。第二点是正压,经由洁净室内的压力传感器节制MAU风机的频率改动送风量对峙洁净室的设定正压,静压层对峙微正压。

   再来就是照度和噪声,这个部分在新的规范里面有仔细的描画,这里不仔细讲了。因为如今半导体系体例造设备尺寸越来越大,装置起来一部分照明会被隐瞒,噪声的问题比较难措置,首要在设备选型的时分留意。接下来是静电节制的问题(ESD),这个自身会构成产品的毁伤或者设备的毁伤,半导体有ESD的规范,是在S20.20。

半导体厂对静电消弭首如果经由两种体式格局一个是被动式的静电消弭,高效空气过滤器半导体制造洁净厂房设计案例,这个设备解题,包括墙板、高架地板、办公设备等。另外一个洁净室的阶梯网,主动式的静电消弭就是用静电消弭器,针对分歧的洁净等级对静电消弭器有很多体式格局。第一张图是百级洁净室图片的样子,旁边是千级洁净室内的图片。下面还有辐射式的基本也是属于主动式消弭的一种。

   新风系统大家零丁做一部分解说,首如果关于半导体来讲对情况是最首要的一部分,也是最轻易发生问题的部分。新风系统有三鸿文用,保证洁净室内一定是正压。第二是节制洁净室的湿度。第三个是净化室外空气、保证供气质量。新风系统特征第一能耗比较高,每个局限都邑有一个大的制冷扇,还有大风量,再一个结构复杂。新风系统在设计上有一些请求,首如果节能方面,整个空调系统占半导体厂能耗的30%-45%,个中近70%被新风系统耗费掉。所以下面有一些节能的措施,包括设置上能够采用热回收的设计,因为时候的关系这里不再仔细引见。

    最后一个是AMC节制,平日有两个规范一个是ISO14644规范,高效空气过滤器半导体制造洁净厂房设计案例,还有一个是Semi规范,AMC分为四种,第一种是酸性,第二种是碱性,第三种是可凝性、第四中是掺杂性。碱性的物质首要在光照这部分会发生一些影响,掺杂性的问题并不是很凸起孙,其他的状况基本问题不大。关于半导体系体例造的影响很多了,每个制程都有一些影响,举一些例子就是酸、碱、Solvent比较敏感,ECP对VOC和酸比较敏感,ThinFilm对酸敏感。AMC的节制大致上有如许一个计划,分歧的工厂可能采用的体式格局纷歧样,关于新奇空气AMC节制大家经由两道,第一个是喷气式。第二个是化学空气过滤器,经由这两道过滤送进洁净室的新风会获得比较好的节制。在洁净室内有一部分污染是来自洁净室内,这部分照样经由化学空气过滤器,假如还达不到请求,那就要在设备端小情况再装置一道化学空气过滤器,来抵达请求。所以AMC节制请求越来越严,这也是近几年的工作,单单是设备中止过滤曾经不能知足请求,所以才出来综合的节制体式格局。仔细的一个工厂AMC节制到什么规范要去考量,因为这个成本十分高,我的内容就讲到这里,感谢。


 


 

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