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无尘室空气过滤器过滤空气洁净度级别标准_洁净无尘室空气过滤器及净化设备制造专家
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2011-04-02   人气:   标签:
 依据美国联邦政府颁布的无尘室标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,无尘室空气过滤器过滤空气洁净度级别标准_洁净无尘室空气过滤器及净化设备制造专家,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别
  ISO等级 大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气) 序数(N)

0.1μm

0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 对应传统洁净度分级 ISO 1 级 10 2           ISO 2 级 100 24 10 4       ISO 3 级 1000 237 102 35 8   1级 ISO 4 级 10000 2370 1020 352 83   10级 ISO 5 级 100000 23700 10200 3520 832 29 百级 ISO 6 级 1000000 237000 102000 35200 8320 293 千级 ISO 7 级       352000 83200 2930 万级 ISO 8 级       3520000 832000 29300 10万级 ISO 9 级       35200000 8320000 293000 30万级 在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级一般清洁度是指空气过滤器等级,分为等级1、2···8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为 1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。 21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。
欧洲洁净度级别草案CEN/TC243
级别 粒/m3 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 10μm 0 20 6   (1)       1 250 63 28 10       2 2500 625 278 100 25     3 25000 6250 2778 1000 250 10   4   62500 27778 10000 2500 100 25 5       100000 25000 1000 250 6       1000000 250000 10000 2500 7       (10000000) 2500000 100000 25000 注:()内数字供参考 无尘室空气过滤器过滤空气洁净度级别标准_洁净无尘室空气过滤器及净化设备制造专家,联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5 以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
欧洲洁净度级别草案CEN/TC243

日本洁净度级别(JIS-9920)
粒径/μ   个/m3               1级 2级 3级 4级 5级 6级 7级 8级 0.1 101 102 103 104 105 106 107 108 0.2 2 24 236 2360 23600 _ _ _ 0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000 0.5 (0.35) (3.5) 35 350 3500 35000 350000 3500000 5.0         29 290 2900 29000 粒径范围/μm 0.1~0.3   0.1~0.5   0.1~5.0 0.3~5.0 无尘室等级,无尘室空气过滤器过滤空气洁净度级别标准_洁净无尘室空气过滤器及净化设备制造专家http://www.gd-klc.com/,无尘室标准,无尘室标准定义一、无尘室定义 将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo (BCR)。
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