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空气过滤器_净化设备_净化工程(洁净室10级——100000级)
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2011-08-23   人气:   标签:

  世界各国均有自定规格,但普遍照样用美国联邦规范209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定规范作引见与相互比较---空气过滤器_净化设备_净化工程(洁净室10级——100000级)。
   209E与209D等最大之分歧在于209E透露显示单位添加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头透露显示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,合营国际公制单位之规范化,M字母后之阿拉伯数量字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数量字以10的幂次方透露显示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完整幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….透露显示。
   美国联邦规范FS209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数规范。空气过滤器_净化设备_净化工程(洁净室10级——100000级)日本规范之透露显示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8透露显示,最好的等级为Class1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得
洁净室之分类
1.乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不划定礼貌之乱流或涡流状况。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。  长处:结构简单、系统建造成本,洁净室之扩展比较轻易,在某些非凡用处场合,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流构成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统中止运转再激活,欲达需求之洁净度,经常须耗时相当长一段时候。
2.层流式(Laminar):  层流式空气气流运动成一平均之直线形,空气由袒护率100%之空气过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式合用于洁净室等级需定较高之情况运用,通俗其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种: 
 (1)水平层流式:水平式空气自空气过滤器单倾向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,通俗在轻贱侧污染较严重。  空气过滤器_净化设备_净化工程(洁净室10级——100000级) 长处:结构简单,运转后短时候内即可变成稳定。
   缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩展。 
  (2)垂直层流式:房间天花板完整以ULPA空气过滤器袒护,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所
发生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。  
长处:治理轻易,运转劈头短时候内即可达稳定状况,不易为功课状况或功课人员所影响。
   缺点:结构费用较高,弹性运用空间艰难,天花板之吊架相当占空间,维修正换空气过滤器较省事。
3.复合式(Mixed Type):
   复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可供应部分超洁净之空气。
   (1)洁净地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA空气过滤器将制程区域或工作区域100%袒护使洁净度等级提高至10级以上,可俭省装置运转费用。此型式需将功课人员之工作区与产品和机械维修予以隔离,以避免机械维修时影响了工作及质量,ULSI制程大都采用此种型式。
   洁净地道尚有二项长处:A.弹性扩展轻易; B.维修设备时可在维修区随意执行。
   (2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经由的主动消费线围困并净化措置,将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘情况相互隔离,少量之送风即可获得优越之洁净度,可俭省能源,不需人工的主动化消费线为最适合运用。药品、食物业界及半导体业界均合用。
   (3)并装部分洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,认为消费之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
   洁净工作台:等级Class 1~100级。
  洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用自力之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米阁下,袒护面积约10m2以下,四支支柱并加装运动轮,可为弹性运用。 
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