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高效空气过滤器在微电子行业的作用
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2011-09-06   人气:   标签:

      领先的晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。高效空气过滤器在微电子行业的作用使微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染 .1962年生产出晶体管——晶体管理逻辑电路和发射极藉合逻辑电路。MOS集成电路出现。由于MOS电路在高度集成方面的优点和集成电路对电子技术的影响,集成电路发展越来越快。
  70年代,高效空气过滤器在微电子行业的作用使微电子技术进入了以大规模集成电路为中心的新阶段。随着集成密度日益提高,集成电路正向集成系统发展,电路的设计也日益复杂、费时和昂贵。实际上如果没有计算机的辅助,较复杂的大规模集成电路的设计是不可能的。70年代以来,集成电路利用计算机的设计有很大的进展。制版的计算机辅助设计、器件模拟、电路模拟、逻辑模拟、布局布线的计算辅助设计等程序,都先后研究成功,并发展成为包括校核、优化等算法在内的混合计算机辅助设计,乃至整套设备的计算机辅助设计系统。
  集成电路制造的计算机管理,也已开始实现。此外,与大规模集成和超大规模集成的高速发展相适应,有关的器件材料科学和技术、测试科学和计算机辅助测试、封装技术和超净室技术等都有重大的进展。电子技术发展很快,在工艺技术上,微细加工技术,如电子束、离子束、X射线等复印技术和干法刻蚀技术日益完善,使生产上在到亚微米以至更高的光刻水平,集成电路的集成弃将超大型越每片106—107个元件,以至达到全图片上集成一个复杂的微电子系统。高质量的超薄氧化层、新的离子注入退火技术、高电导高熔点金属以其硅化物金属化和浅欧姆结等一系列工艺技术正获得进一步的发展。在微电子技术的设计和测试技术方面,随着集成度和集成系统复杂性的提高,冗余技术、容错技术,将在设计技术中得到广泛应用。

微粒过滤 MegaCel 过滤器专门为满足严格的半导体行业而设计,涉及到生产区、模块式区域,小型或微型环境。MegaCel过滤器的开发提供了极高效率、低阻力的性能。

Standards:
EN1822
ISO 14644

AMC过滤器

ISO Standard14644-8是针对洁净室及其相关的受控环境-2004年第8部分介绍了其在洁净室和相关受控环境中分子空气污染的等级。
为了实现和满足ISO标准,工厂和晶片制造商必须关注所有所有区域的设备在空气中的使用、处理和需求的过程,包括:

供给的空气轨迹
循环空气轨迹(使用过滤风机控制的局部区域像大厅、微环境和封闭地区)

高效空气过滤器在微电子行业的作用排气轨迹
需要空气净化和洁净的微环境。


外部或内部的AMC的来源

内部来源包括在洁净室内化学药品的制造过程和原材料由于意外或灾难的溢漏。在微型环境中由于深紫外
线的化学反应也是来源之一

外部来源包括通过空气送风系统带来的来自工业生产、交通废气、海洋、季节性因素和风向的污染,
影响邻近的地点或设备。
高效或超高效过滤器
初效过滤器
中效袋式过滤器
空调过滤器
化学过滤器
 

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