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电子半导体洁净车间空气过滤净化工程解决方案
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2012-09-18   人气:   标签:
    式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今AstroFan FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种最安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质量的循环空气。电子半导体洁净车间空气过滤净化工程解决方案  

   半导体车间空气净化工程目标是建立一个洁净无尘的工作环境,防止空气中的微粒子、有害空气、细菌等。半导体生产流水线上的半成品和成品造成污染。  

  传统的通风形   领先的晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染 。 

     半导体车间空气净化通常由:初效过滤器/中效过滤器/高效过滤器三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统、动力及照明系统、工作环境参数的监测报警消防、通讯系统、人流和物流系统、工艺管路系统等部分组成。  

用 途: 半导体车间空气净化工艺广泛应用于硅电子、收音机、电视机、电脑、家用电器等行业生产车间的空气净化。 

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